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91.
The microstructures of Cu films deposited by the self-ion assisted, partially ionized beam (PIB) deposition technique under
two different accelerating potentials, 0 KeV and 6 KeV, are compared. The 6 KeV film shows a bimodal (111) fiber and (100)
fiber texture with an abundance of twin boundaries and a relatively large average grain size with a typical lognormal distribution.
The 0 KeV film consists of small, mostly (111) oriented grains with islands of abnormally large (100) grains. The controlling
factors for the abnormal growth of the (100) grains are discussed in relation to the observed microstructures, showing that
all factors necessary for abnormal (100) growth are present in the films. 相似文献
92.
松紧档疵点是喷水织机长丝织物织造过程中常见病疵之一。通过分析LW -60 1喷水织机的送经和卷取装置的工作原理 ,从机械调整与维护、生产过程管理及工艺优化等方面探讨了其产生的原因 ,并针对性提出了实用对策 相似文献
93.
高质量ZnO薄膜的退火性质研究 总被引:3,自引:0,他引:3
在LP-MOCVD中,我们利用Zn(C2H5)2作Zn源,CO2作氧源,在(0002)蓝宝石衬底上成功制备出皮c轴取向高度一致的ZnO薄膜,并对其进行500℃-800℃四个不同温度的退火。利用XRD、吸收谱、光致发光谱和AFM等手段研究了退火对ZnO晶体质量和光学性质的影响。退火后,(0002)ZnO的XRD衍射峰强度显著增强,c轴晶格常数变小,同时(0002)ZnOX射红衍射峰半高宽不断减小表明晶粒逐渐增大,这与AFM观察结果较一致。由透射谱拟合得到的光学带隙退火后变小,PL谱的带边发射则加强,并出现红移,蓝带发光被有效抑制,表明ZnO薄膜的质量得到提高。 相似文献
94.
多层薄膜结构气敏效应研究 总被引:4,自引:0,他引:4
在SnO2气敏薄膜层上覆盖一层或多层钝化材料(SiO2,Al2O3) 薄膜,制成的多层膜气敏元件,可很好地排除大分子气体如乙醇等对小分子H2检测的干扰,使其具有单独检测H2的功能。本文还通过测量元件的升温曲线,推导出敏感体表面的氧吸附活化能;找出活化能与灵敏度、选择性的关系。根据实验现象和物性分析结果,试着探讨了元件的敏感机理。 相似文献
95.
Si衬底上Ta-N/Cu薄膜性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
对Si衬底上Ta-N/Cu薄膜进行了电学和热学分析,结果发现500℃以下薄膜电随几乎不变,600-690℃下的退火引起的电阻率降低是由于Ta-N电阻的热氧化和Cu熔化扩散引起的,而690℃以上的电阻率增加是由于Cu引线传输能力减弱所致,为0.18μm以下的超大规模集成电路中的Cu引线和电阻薄膜的制作提供了有益的借鉴。 相似文献
96.
通过介绍特细砂混凝土在嘉陵江流域的马回、东西关、桐子壕等水电站建设中的应用情况 ,分析了特细砂混凝土的特性和配合比等特点 ,并闸明了在施工中使用特细砂混凝土的经济效益。 相似文献
97.
98.
本文对双跨换热器传热管在静水中的结构阻尼与粘滞阻尼作了简介,并对在总阻尼中占主导地位的挤压膜阻尼作了较深入的讨论。Mulcahy 于80年代初提出的挤压膜阻尼数学模型是较为完善的,其缺陷是未计入管子振幅的影响,本文对它进行了修正。为了验证理论分析的结果,笔者对双跨传热管在静水中的挤压膜阻尼作了实验研究,得出挤压膜阻尼与中间支承板厚度、管子-中间支承板间隙以及管子振幅之间的关系。 相似文献
99.
100.